Wählen Sie ein anderes Land oder eine andere Region, um Inhalte für ihren Standort zu sehen

Elektronikindustrin

Den ständiga miniatyriseringen av komponenter är drivkraften bakom den snabba utvecklingen inom elektroniken. Förutsättningarna för de allt mindre mikrochipsen i front-end, de allt mer komplexa chipsen i back-end och de alltmer kompakta kretskorten i elektronikproduktionen är den ständigt förbättrade noggrannheten i den mät- och rörelseteknik som används.
ETEL-plattformar med HEIDENHAIN-mätsystem samt rörelsestyrningar och positionsreglage från ETEL ger högsta noggrannhet och enastående prestanda. Mätsystem från NUMERIK JENA och RSF kompletterar dessa avancerade lösningar. 

Våra höjdpunkter för tillverkning av halvledare och elektronik

Utveckling inom positioneringsnoggrannhet leder till allt mer effektfulla chips och elektroniska komponenter – 
och det beror på positionsmätningen.

Lösningar för front-end i halvledartillverkning

Optimerad för tillverkning av mikrochips

Öppna längdmätsystem från HEIDENHAIN är optimerade för de dynamiska maskiner med hög precision som krävs i front-end av halvledartillverkningen.  De garanterar hög långsiktig stabilitet och går dessutom snabbt och enkelt att installera.

Modulära vinkelgivare med optisk avkänning utan egenlagring i ERP-serien kan användas i dessa tillämpningar på stora hålaxlar och vid höga varvtal på upp till 20 000 min–1 . De har särskilt låg massa och därmed ett mycket lågt tröghetsmoment, vilket gör att de inte kräver något extra startmoment – en särskild fördel för maskiner inom halvledartillverkning.

ETEL-rörelsesystem erbjuder nivåer från en fristående X-axel till kompletta lösningar med sju axlar. De täcker därmed ett brett spektrum av tillämpningar inom halvledartillverkning . Den vertikala samverkan mellan ETEL:s know-how inom motor, elektronik och styrning och HEIDENHAIN:s expertis inom positioneringsnoggrannhet ger tydliga fördelar, t.ex. en utmärkt dubbelriktad upprepningsnoggrannhet på ±250 nm.

Öppna längdmätsystem för litografier

Mät- och rörelseteknik för back-end

Längdmätsystem för olika back-end-tillämpningar

På maskiner och system för back-end i halvledartillverkning ställs många olika krav. För alla dessa krav erbjuder HEIDENHAIN och varumärkena NUMERIK JENA och RSF skräddarsydda längdmätare. Från högsta noggrannhet till extremt små dimensioner – alla konstellationer är möjliga för att uppfylla de specifika kraven i din tillämpning. 

Mät vinklar i back-end-applikationer med hög precision

Mätsystem med hög precision krävs för att se till att rotationsaxlar alltid sitter i rätt position i bindningsprocessen, vid förpackningen eller andra back-end-tillämpningar inom halvledartillverkning . HEIDENHAIN erbjuder två lösningar: modulära optiska vinkelgivare i ERP- och ERO-serierna eller vinkelgivarmoduler av typen MRP, som är optimalt anpassade kombinationer av vinkelgivare och högprecisionslager med testade och specifika egenskaper som förenklar hantering och montering.

Modulära vinkelgivare och vinkelgivarmoduler

Mekatroniska rörelsesystem för avancerade tillämpningar

ETEL erbjuder ett brett utbud av drivsystem. Med allt från fristående produkter till högintegrerade plattformar hittar du lösningar som uppfyller de särskilda kraven för halvledartillämpningar. Som maskintillverkare kan du koncentrera dig på din kärnkompetens. Kraftfulla mekatroniska rörelselösningar hittar du hos ETEL.

Nyheter från de världsomspännande SEMICON-mässorna
hittar du även på vår mikrosida.  

Till höjdpunkterna

Mätsystem för tillverkning av komponenter och kretskort

Öppna längdmätsystem för mycket dynamiska processer

Vid bestyckning av moduler och kretskort i elektronikproduktionen ligger fokus på processernas dynamik. Öppna längdmätsystem i LIC- och LIDA-serien från HEIDENHAIN har de rätta förutsättningarna och kombinerar den nödvändiga noggrannheten med höga förflyttningshastigheter. Mätsystem från NUMERIKJENA och RSF lämpar sig särskilt bra för individuella, kundspecifika lösningar. 

Längdmätsystemen LIC och LIDA från HEIDENHAIN

Exakt positionering av rundaxlar

Modulära optiska vinkelgivare av typen ERO eller ERA är också förstahandsvalet för stora rotationsaxlar i maskiner för komponent- och kretskorttillverkning. Särskilt enkla att hantera och montera är MRP-vinkelgivarmodulerna. De är en kombination av vinkelgivare och högpreciserat lager som blir en högintegrerad komponent med specificerade egenskaper. Vinkelgivarmoduler är ett perfekt alternativ till luftlagrade axlar och sparar tidskrävande justeringsprocesser efter montering. Som alternativ hittar du hos RSF den absoluta vinkelgivaren MCR 15 med sin specifika konstruktion för elektriska drivningar. 

 

Dynamiska rörelser med ETEL

XY-bord, portalsystem eller rotationsbord – ETEL erbjuder lösningar som kompletta rörelsesystem med direkt drivteknik för alla konstruktionsvarianter. Därmed har du som maskintillverkare möjlighet att utföra alla rörelser med mycket dynamiska och preciserade system, från den enklaste formen med två linjära frihetsgrader till linjära rörelser i utrymmet och kombinationer med rotationsaxlar. ETEL-lösningar erbjuder alltid ett optimalt utnyttjande av utrymmet för så kompakta maskiner som möjligt.

Mätsystem för LED- och bildskärmsteknik

Briljanta displayer tack vare exakt linjär positionering

De högupplösta bilderna med sina klara, livfulla färger i ultraplatta skärmar, från kompakta pekskärmar i smarttelefoner till UHD-tv-apparater med storbild, är ett resultat av den positioneringsnoggrannhet som finns i produktionsanläggningar för LED-teknik. Den här positionsnoggrannheten levererar öppna längdmätsystem från HEIDENHAIN, NUMERIK JENA och RSF, på samma sätt som i många andra områden inom elektronikindustrin. 

HEIDENHAIN: Glasmåttskala med en längd på upp till 5 m

Maximal noggrannhet även på rundaxeln

De modulära optiska vinkelgivarna i serierna ERO, ERP, ECA och ERA täcker alla krav på noggrannhet, dynamik och tillförlitlighet för roterande rörelser vid tillverkning av LED:er och bildskärmar. Det innebär att du alltid kan välja exakt det mätsystem som passar perfekt för din tillämpning. 

Hög noggrannhet under hela livslängden: 
Signal-Processing-ASIC HSP 1.0

Det här kan också vara av intresse

Öppna längdmätsystem och konsekvent stabila mätvärden

I det här dokumentet kan du läsa mer om hur HEIDENHAIN säkerställer den höga noggrannheten i sina öppna mätsystem under hela livslängden.
Till nedladdning

Mätsystem för linjärmotorer i elektronikindustrin

Positionsmätsystem är avgörande för en linjärmotors prestanda. I detta dokument får du en överblick över sammanhangen.
Till nedladdning

Längdmätsystem för användning i vakuum

Vakuumteknik spelar en viktig roll inom elektronik och tunnfilmsteknik. I dokumentet kan du läsa om hur längdmätsystem uppfyller dessa särskilda krav.
Till nedladdning

Gränssnitt, signaler och Interface-elektronik

Gränssnitten, som är övergången mellan mätsystem och efterföljande elektronik, säkerställer ett tillförlitligt informationsutbyte. I broschyren får du en överblick.
Till nedladdning